[其他]涡轮分子泵无效
| 申请号： | 85101627 | 申请日： | 1985-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN85101627A | 公开（公告）日： | 1987-03-25 |
| 发明（设计）人： | 成田清;川口寿一 | 申请（专利权）人： | 株式会社岛津制作所 |
| 主分类号： | F04D19/04 | 分类号： | F04D19/04 |
| 代理公司： | 中国专利代理有限公司 | 代理人： | 曹永来 |
| 地址： | 日本京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 转子转动进行抽气的涡轮分子泵，有一组由互相交替排列的转子组成的叶片和定子叶片，在所述的排气口侧或中间部分的叶片组中有压缩比增大的部位。压缩比增大部位有一个转子，其叶片厚度大于更接近吸气口侧的转子。这种涡轮分子泵有低真空度阶段的优良的抽气效率。 | ||
| 搜索关键词： | 涡轮 分子 | ||
【主权项】：
1、转子转动进行抽气的涡轮分子泵，其特征是，该泵有一组由互相交替排列的转子和定子叶片组成的叶片组，在所述的叶片组中有压缩比增大的部位位于排气口侧的一分部，所述的压缩比增大部位至少有一个转子，其厚度大于比其更接近于吸气口侧的至少是一个的转子的厚度。
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