[其他]一种气体微流量计

摘要

一种微流量测量用的气体微流量计，其节流元件是由微颗粒层板制成。同时还采用由半导体二极管、三极管、运算放大器、电阻所组成的流量温度补偿网络。并利用二极管或电阻(指热敏电阻)的电流温度系数与气体粘度温度系数相当的措施来改变桥路恒流源供电电流，实现温度补偿之目的。从而克服了一般流量计精度低，使用温度范围较窄的缺点。提高了各种气体微流量测量精度，降低最小感度，提高分辨率，增加了适用温度范围。

主权项

1.一种由差压传感器、节流装置、恒流源、放大标定电路、稳压电源，数字显示所组成的气体微流量计，其特征在于所说的节流装置中的节流元件由微颗粒层板或泡沫层板(6)制成，所说的恒流源是由流量温度补偿网络(2)所组成，微颗粒层板或泡沫层板(6)要密封于腔体(5)中，流量温度补偿网络(2)是由半导体二极管、三极管、运算放大器及电阻所组成，二极管或电阻(指热敏电阻)的电流温度系数要与气体粘度温度系数相当。