[发明专利]流过纯净气体的中间储存装置

摘要

本发明涉及到联接在气体分配导管上的一流过纯净气体的中间储存装置，它具备至少一高压储存器，一低压储存器及一升压压缩机。利用这一中间储存装置不仅能明显地储存多余量的或补充不足量的纯净气体，同时也能将气体分配导管中的压力以尽可能小的误差保持其恒定。该发明规定不论在低压储存器中的进气导管，还是高压储存器的出气导管均联接到气体分配导管中，在联接低和高压储存器的联接导管中至少装入一个升压压缩机并且在低压及高压储存器的进气及出气导管中装入由压力传感器进行调节的阀。

主权项

1.联接在一个气体分配导管上的流过纯净气体的中间存储装置，它具备至少一个高压储存器，至少一个低压储存器及至少一个升压压缩机，其特征为：无论是低压储存器(7，8)的进气导管(17，18)或是高压储存器(9，10)上的出气导管(43，44)均和气体分配导管(1)相联接，在联接低压储存器与高压储存器的联接导管(11)中至少装入一个升压压缩机，并且由压力传感器(25，26，27，28，41，42，51，52，53，54，61，62)调节的阀(19，20，21，22，39，40，45，46，49，50，59，60)装设在低压储存器和高压储存器的进气导管及出气导管之中。