[发明专利]静电沉积器的气体调节装置无效
| 申请号： | 85104328.3 | 申请日： | 1985-06-07 |
| 公开（公告）号： | CN1013834B | 公开（公告）日： | 1991-09-11 |
| 发明（设计）人： | 特利尼;福特 | 申请（专利权）人： | 贝尔科科技公司 |
| 主分类号： | B03C3/01 | 分类号： | B03C3/01 |
| 代理公司： | 中国专利代理有限公司 | 代理人： | 杨厚昌 |
| 地址： | 美国新泽西*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 工厂静电沉积器中能接受空气源及含硫气源的装置包括气态氧化硫的源具输入口和输出口并与空气源及含硫气源相连能至少提供气态氧化硫，具输出口且其输入口与气态氧化硫的源相连并转化气态氧化硫成调节介质的转化器；与转化器的出口相连并提供表示转化器出口的转化温度信号的传感器与气态氧化硫的源及传感器相连以便按转化温度信号改变与流入装置中的气流相关的能量传递速率的调制器；与转化器的出口相连以输送调节介质至■积器的输送装置。 | ||
| 搜索关键词： | 静电 沉积 气体 调节 装置 | ||
【主权项】：
1.调节工业装置的静电沉积器(36)中的气体的装置，其中包括：一个气态氧化硫的源(22，104)，一个空气源(16)和将该气态氧化硫和空气转化为一种用于该沉积器(36)的调节气体介质(包括三氧化硫)的转化器装置(32)，其特征在于，与转化器装置的出口(32A)连接的传感装置(32C)，提供一个指示该转化器装置的出口(32A)温度的转化器温度信号，以及与传感装置(32C)连接的并与气态氧化硫的源(22，104)连通的调制装置(20)，用来根据转化器温度信号，来改变在转化器装置(32)上游的、与来自空气源(16)的空气流相关联的能量传递速率。
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