[其他]作为掺杂剂的磷酰三胺及其聚合物在审
| 申请号： | 85104374 | 申请日： | 1985-06-05 |
| 公开（公告）号： | CN85104374A | 公开（公告）日： | 1986-12-03 |
| 发明（设计）人： | 罗伊斯·简尼·阿尼罗;斯蒂芬·威克弗德·卡特林;丹尼尔·福兰克·哈里斯 | 申请（专利权）人： | 阿兰德公司 |
| 主分类号： | C07F9/06 | 分类号： | C07F9/06;H01L21/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 美国新泽西州07960*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 磷酰三胺及其聚合物被称作为用于旋制掺杂到半导体材料上和用于集成电路制造上的磷掺杂剂。在低荷载条件下，于1000℃扩散1小时即能制得薄膜电阻系数为每平方4～13欧姆。聚合物(或单体)是均相的，可溶的，如用旋涂法易于将它均匀分散到半导体表面上，且较不易挥发，以至当溶液脱除后，将材料加热到扩散温度，就将得到确实是完整的所预想的薄膜，并能变成不可溶的，即用加热和其它方法使其交联，并呈现玻璃化的特征而不是结晶化的。 | ||
| 搜索关键词： | 作为 掺杂 磷酰三胺 及其 聚合物 | ||
【主权项】：
1、由磷掺杂剂配方形成一种感应导电性的薄膜，在此配方中的磷酰三胺在其挥发性溶剂中所占的比例至少为1.0%(重量)，此磷酰三胺可由含下述单体和聚合物的结构基团中来选择，单体的结构式为(RNH)3P∶=X而聚合物的结构式为作为这种基本掺杂剂的组分，其中“R”是选自氢、含1～12个碳原子的脂肪族烷基、环烷基和芳基，X则选自含氧和硫的基团；并且至少有一个R基团，此R基团或是脂肪族烷基、环烷基、或是芳基。
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