[其他]坐标测量仪

摘要

一台坐标测量仪，其中一个检测器和一个要测量的工作，可以制成在三个尺寸方向相对移动，工件的形状等是由相对移动量来测量。在这种测量仪器中，一个或几个气动支承装置(55、140、250)是插在一个可移动件(2、70)和一个固定件(1、100)之间，气动支承装置的空气流出表面的整个面积，是由相对于固定的一个或几个预定长度和宽度来确定，并且，防止因可移动件的重力等，引起测量精度降低。

主权项

1.一种坐标测量仪包括；彼此相对运动并彼此相关的一个检测器和一个待测量的工件，工件的尺寸等是通过检测器和工件之间的相对位移来测量的；一个具有向上表面的固定件；一个包括有一门框式结构的可移动件，该门框式结构有一对直立的支柱，支柱的上端由一横梁连接起来，横梁上装有一滑块，检测器可移动地装在滑块上，所述支柱的底端分别有第一支承装置和第二支承装置，所述第一支承装置有一倒U形的截面，其中容纳一个有方形截面的导轨，该导轨装设在所述固定件的上表面上，所述第二支承装置有一向下的表面，该向下表面与所述的向上表面直接相对；所述支承装置是带有空气流出面的气动支承装置，所述的空气流出面上设有许多个空气流出孔，这些空气流出面分别与所述的向上表面和所述导轨的外表面相对；其特征是：用于引导至少一个水平面的所述气动装置的预定空气流出面的总面积是由所述支承装置沿相对移动方向的长度的50％或更多一些和垂直于移动方向的宽度确定的。