[发明专利]气体浓度测量仪

摘要

利用超声波在气体中传播速度对气浓度的依赖性的气体浓度测量仪包括一个防潮超声波传感器。它有一层利用蒸发方式沉积在密封材料表面上的金属或类似材料。因此，该仪器几乎不受温度和湿度的影响。可在高湿度下长时间连续高精度测量气体浓度。该超声波传感器基本上由超声波振动器、支架和密封材料构成。更可取的是。它被嵌入一个块中并用弹性密封材料密封，在密封材料(弹性密封材料)表面、超声波传感器的振动端面和块端面上形成一层导电和/或非导电材料的膜。

主权项

1、一种气体浓度测量仪器，它包括：一个由反馈放大器控制的信号发生器；一个对所说的信号发生器所产生的高频信号进行放大的驱动放大器；一个包括了超声波发射元件和超声波接收元件的超声波传感器，该超声波发射元件由一种电致伸缩型振子构成，用于把所说的驱动放大器放大的高频信号转换为超声波，并发射该超声波，而该超声波接收元件亦由一种电致伸缩型振子构成，用于接收所说的超声波，并将其转换为电信号；一个于负导抗转换器、电阻和另一负导抗转换器组成的反馈振荡系统，前一个负导抗转换器接在所说的超声波发射元件与驱动放大器之间，另一个负导抗转换器则与所说的超声波接收元件并联；一个与反馈放大器的输入相连的前置放大器；还包括一个计算输出系统，该计算输口系统包括一个混频器，用以产生反馈振荡系统频率与晶体谐振器参考频率之间的差频；一个频率-电压转换器，用于将所说的混频频器输出的差频转换为电压以及一个根据所说的频率-电压转换器的输出和温度传感器所检测的温度信息计算出气体浓度的补偿器，该气体浓度测量仪的特征为：所说的超声波传感器是一种防潮超声波传感器，它基本上由一个超声波振荡器、一个支架和一种密封材料所构成，密封材料的表面上沉积了导电材料膜和非导电材料的膜，所述的导电材料的膜的成分是铝、金、铅、铜、钛合金、镍、铬、二氧化钼或氟化镁，所述的非导电材料的膜的成分是氧化硅或二氧化硅之类的材料，所述的各个膜是用真空蒸发、测射、离子喷镀方法形成，各个膜的厚度范围是500到5000，膜的总厚度范围是1000到5000。