[其他]偏振条纹扫描数字干涉仪无效
| 申请号： | 85106007 | 申请日： | 1985-08-06 |
| 公开（公告）号： | CN85106007B | 公开（公告）日： | 1988-03-02 |
| 发明（设计）人： | 伍树东;陈祥祯;陶琇 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01M11/00 | 分类号： | G01M11/00;G01B9/02 |
| 代理公司： | 中国科学院上海专利事务所 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 上海市8*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 偏振条纹扫描数字干涉仪是用于光学检验的仪器，它利用起编器、偏振小孔、菲涅尔相板组成的位相偏振编码器将被测的位相分布φ(X、Y)编码为不同偏振角分布φ(X、Y)/2，通过旋转检编器进行条纹扫描，其干涉图由电视摄像机接收，送入微机进行数据处理。发明提供了测量透镜、球面和平面等光学元件的实用的偏振条纹扫描数字干涉仪。该发明的特点是结构简单，操作方便，在一般环境条件下工作，可获得高精密的测量。 | ||
| 搜索关键词： | 偏振 条纹 扫描 数字 干涉仪 | ||
【主权项】：
1.一种用于光学检验的偏振条纹扫描数字干涉仪，含有激光光源〔1〕、偏振轴可调的起偏器〔12〕、带有偏振小孔〔14〕的偏振板〔13〕、四分之一波片〔15〕、成象透镜〔6〕、旋转检偏器〔7〕、其特征在于所说的四分之一波片为费涅尔相板〔15〕，所说的偏振轴可调起偏器〔12〕位于被测元件〔4〕之后，並与偏振板〔13〕和费涅尔相板〔15〕一起构成位相偏振编码器〔5〕，微机〔10〕通过同步控制机构〔8〕使所说的旋转检偏器〔7〕同步旋转，产生条纹扫描，干涉图被电视摄象机〔9〕接收，送入微机〔10〕进行数据处理。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院上海光学精密机械研究所，未经中国科学院上海光学精密机械研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/85106007/，转载请声明来源钻瓜专利网。
