[其他]用于气体分析器的多层膜干涉滤光器无效
| 申请号： | 85106181 | 申请日： | 1985-08-16 |
| 公开（公告）号： | CN85106181B | 公开（公告）日： | 1988-06-22 |
| 发明（设计）人： | 石田正彦 | 申请（专利权）人： | 株式会社堀场制作所 |
| 主分类号： | G01N21/35 | 分类号： | G01N21/35;G02B5/20 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利代理部 | 代理人： | 李强 |
| 地址： | 日本京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及用于氨气、乙烯等气体分析器的多层膜干涉滤光器，其目的是要在物理强度和耐久性上对之进行改进。在由红外线可穿透材料制作的基片上，制作出了一种多层膜，在这种多层膜中锗被用作高折射率材料，而硫化锌被用作低折射率材料。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 气体 分析器 多层 干涉 滤光 | ||
【主权项】：
用于气体分析器中的多层膜干涉滤光器，它具有8μm附近的起始透过波长，其特征在于它包括叠置在Si基片的一个表面(切割面)上的两组膜层和叠置在该基片的另一个表面(短切面)上的四组膜层，所述各组膜层由以Ge作高折射率材料并以ZnS作低折射率材料的交替多层膜构成。
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