[发明专利]真空设备

摘要

本发明涉及一个真空设备，它有一个由电动机驱动的，并使用辅助液体工作的真空泵。真空泵(2)与一个装有储存室的、并用来把被输送的气体从辅助液体中分离出来的粗分离器(7)相连。辅助液体(33)流出储存室后经过液体冷却器(23)再重新输到真空泵(2)中，而载有残余辅助液体(33)的气体则被送到一个装在粗分离器(7)后面的细分离器(19)中。从细分离器(19)分离出来的辅助液体(33)由装在细分离器(19)上的一根返回管(27)输送。改善辅助液体从气体中分离情况的途径如下粗分离器(7)和细分离器(19)结构上分开安装，载有残余辅助液体(33)的气体经过气体冷却器(13)被送至细分离器(19)，气体冷却器(13)和液体冷却器(23)也是分开来安装的。这两个冷却器的尺寸大小，应能保证气体的冷却温度远远低于辅助液体(33)的排出温度。

主权项

1.真空设备，它包括由电动机(1)驱动的带进入管(4)和排出管(5)的液环真空泵(2)，其装有储存室的并用来把被输送的气体与辅助液体分离的粗分离器(7)与真空泵的排出管相连，辅助液体(33)从储存室流出，经过其一端(24)与粗分离器相连而另一端(25)与进入管(4)或液环泵(2)的工作室相连的液体冷却器(23)再重新输到液环泵(2)，载有残余辅助液体的气体通过相应的气体管道(11和17)引入配置在粗分离器后面的细分离器(19)中，从细分离器分离出来的辅助液体由与其相连的一条返回管输送，其特征在于，粗分离器(7)和细分离器(19)相互分开配置，还载有残余辅助液体(23)的气体经气体冷却器(13)输送到细分离器，该气体冷却器(13)与液体冷却器(23)相对分开配置，两者的尺寸大小应能使气体的温度降到低于在液体冷却器(23)排出口的排出温度。