[发明专利]一种极微流量气体取样微漏孔的制造方法无效
| 申请号： | 85107238.0 | 申请日： | 1985-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN1006090B | 公开（公告）日： | 1989-12-13 |
| 发明（设计）人： | 王欲知;刘建生 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | G01N1/22 | 分类号： | G01N1/22;B28D1/14 |
| 代理公司： | 电子科技大学专利事务所 | 代理人： | 李晓洪,武登祥 |
| 地址： | 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明是一种新型极微流量气体取样微漏孔的制造方法。该方法是在一平面玻璃上，制作范围为1微米到20微米的小孔(微漏孔)；该孔是通过高速钻削；化学腐蚀和电击穿三道工序制作而成。用本方法制作的微漏孔用在含气器件和设备的微量气体取样中具有漏率稳定；不易堵塞、质量歧视小的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 极微 流量 气体 取样 漏孔 制造 方法 | ||
【主权项】：
(1)一种极微流量气体取样微漏孔的制造方法是在一平面玻璃片上制作具有1微米到20微米的一小孔，其步骤是：①用高速钻头在玻璃片上钻出一尚未穿透的凹坑；②用化学腐蚀的办法，将凹坑进一步变薄；③用电击穿的方法将凹坑击穿。
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