[发明专利]带电粒子束装置的控制方式无效
申请号: | 85107255.0 | 申请日: | 1985-09-28 |
公开(公告)号: | CN1014590B | 公开(公告)日: | 1991-11-06 |
发明(设计)人: | 村上英信;安永政司 | 申请(专利权)人: | 三菱电机株式会社 |
主分类号: | B23K15/02 | 分类号: | B23K15/02;H01J37/315 |
代理公司: | 中国专利代理有限公司 | 代理人: | 叶凯东 |
地址: | 日本东京千代*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 当电弧发生时,输入到反馈控制系统的带电粒子束加速电压的反馈信号被固定在与电弧发生前相应信号的预先确定值上,经过一个给定的时间间隔之后,解除被固定了反馈信号,继续反馈控制。 | ||
搜索关键词: | 带电 粒子束 装置 控制 方式 | ||
【主权项】:
1.一种将带电粒子束加速电压,反馈控制给为带电粒子束发生器供电的可控电源的带电粒子束装置的控制方式,其特征是:在放电引起负载短路时,一旦将反馈控制系统的反馈信号固定在上述负载短路前的上述反馈信号所定的值上,经过一个给定的时间间隔之后,解除上述固定,继续上述的反馈控制。
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