[其他]一种离子质量数监控及锁定装置无效
| 申请号： | 85201295 | 申请日： | 1985-04-16 |
| 公开（公告）号： | CN85201295U | 公开（公告）日： | 1986-04-09 |
| 发明（设计）人： | 胡瑞雯;符家平;王东宇;万洪祥 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | G05B15/02 | 分类号： | G05B15/02 |
| 代理公司： | 西安交通大学专利事务所 | 代理人： | 王民培,来智勇 |
| 地址： | 陕西省西安市*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 一种能够对离子的质量数加以显示、控制和准确锁定的装置。其锁定精度在1-75a·m·u范围内为±0.2a·m·u在75-122a·m·u范围内为±0.3a·m·u，从而能作到双电荷、三电荷离子的注入锁定。将它安装在离子注入机上，能够保证离子注入时掺杂的纯度、精密度和重复精度，有效地提高了集成电路芯片的成品率。该装置还可用于需要对离子质量数进行监控和锁定的冶金、金属加工以及超导研究等方面。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 离子 质量数 监控 锁定 装置 | ||
【主权项】：
1、一种用在离子注入机上，以便对所注入元素的质量数加以监视、控制及锁定的装置，其特征在于它由吸极电压采集单元(2)、磁场信号采集及处理单元(4)、磁场激磁电流调节及控制单元(7)、微型计算机(8)、光耦合隔离器(3)和(6)组成。
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