[其他]场致发射扫描俄歇电子显微镜无效
| 申请号： | 86100036 | 申请日： | 1986-01-03 |
| 公开（公告）号： | CN86100036A | 公开（公告）日： | 1986-07-23 |
| 发明（设计）人： | 约翰尼斯·乔治·贝德诺尔茨;詹姆斯·卡齐密尔茨·吉姆齐夫斯基;布鲁诺·赖尔 | 申请（专利权）人： | 国际商业机器公司 |
| 主分类号： | H01J37/285 | 分类号： | H01J37/285;H01J37/28 |
| 代理公司： | 上海专利事务所 | 代理人： | 颜承根 |
| 地址： | 美国纽约10*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 俄歇电子显微镜装有场致发射尖头〔10〕，维持在样品〔7〕的表面上相距一基本恒定的距离处。尖头〔10〕可由尖端半径为～50nm的钨(100)触须所组成，其中作距离的数量级为1mm。从样品〔7〕表面发射的俄歇电子由电子能量分析器〔11〕收集以便进行常规处理。在尖头〔10〕及样品〔7〕之间的相互扫描移位由XYZ驱动模件〔6〕完成，它还负责调整尖头〔10〕的工作距离。整个显微镜装置装在振荡阻尼系统〔4，5〕上，且如有需要，可用合适的法兰盘投进真空系统。 | ||
| 搜索关键词： | 发射 扫描 电子显微镜 | ||
【主权项】：
1、场致发射扫描俄歇电子显微镜包括场致发射源，样品支架，使场致发射源及样品相互移位的扫描装置，带有关电子数据处理电路的电子探测器及显示和/或记录结果用的装置，其特征在于场致发射源包括一有尖锐尖端且尖端半径为≤100nm的尖头，上述尖头保持在距上述样品表面为≤1的基本上恒定的距离上及在上述尖头与上述样品之间保持电位差。
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