[其他]半导体器件无效

专利信息
申请号: 86101789 申请日: 1986-03-19
公开(公告)号: CN86101789A 公开(公告)日: 1986-11-19
发明(设计)人: 彼得·丹尼斯·斯科维尔;彼得·弗里德·布洛姆利;罗格·莱斯利·巴克 申请(专利权)人: 标准电话电报公共有限公司
主分类号: H01L27/04 分类号: H01L27/04;H01L21/70;H01L21/04
代理公司: 中国国际贸易促进委员会专利代理部 代理人: 王以平
地址: 英国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 一种集成电路,其中,双极晶体管(1)和CMOS晶体管(2、3)在衬底上同时形成。CMOS晶体管的栅(11、21)与双极晶体管的发射极(29)用同一材料形成,双极器件的基极接触由相当于n阱MOS管的源、漏区(17、18)的区域(27、27a)构成,并由基区注入(28)桥接。增加两次光刻掩膜及一次基区注入改进了普通的CMOS工艺。一次光刻步骤决定(28)的范围,另一次光刻步骤决定氧化层(30)在(28)上的范围。基极接触用半自对准的方法产生。
搜索关键词: 半导体器件
【主权项】:
1、一种集成电路,它包括一个具有一个栅极的MOS晶体管和一个具有与栅材料相同的发射极的双极晶体管。
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