[发明专利]氧化锡薄膜气敏元件无效
| 申请号： | 86102281.5 | 申请日： | 1986-04-05 |
| 公开（公告）号： | CN1010250B | 公开（公告）日： | 1990-10-31 |
| 发明（设计）人： | 松本毅;冈田治;中村裕司 | 申请（专利权）人： | 大阪瓦斯株式会社 |
| 主分类号： | G01N27/12 | 分类号： | G01N27/12;H01L49/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理有限公司 | 代理人： | 叶凯东,肖春京 |
| 地址： | 日本国大阪府大*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 在氧化锡薄膜气敏元件中，用Cuk作为射线源进行气体检测表面的单晶取向性和结晶性的X线衍射时，设其最强衍射线强度为I1、第二、第三、第四和第五强的衍射线强度分别为I2、I3、I4和I5，此时，这些衍射线强度的两者或三者之间有一种特定的数值关系，而且最强衍射线强度的半值宽度大于某一特定值。 | ||
| 搜索关键词： | 氧化 薄膜 元件 | ||
【主权项】：
1.一种氧化锡薄膜气敏元件，由硅基片、二氧化硅绝缘薄膜、氧化锡薄膜和白金电极构成，其特征在于所述氧化锡薄膜的气体检测表面在用Cuk作为射线源对其单晶取向和结晶性作X线衍射时，设最强衍射线强度为I1，第二、第三、第四和第五强的衍射线强度分别为I2、I3、I4和I5，这时(a)(211)面或者(110)面的线强度最强，I2/I1≤0.6，I1的半值宽度大于0.58；或者(b)I1是(110)面或(101)面的线强度，I2为(101)面或(110)面的线强度，I2/I1≥0.5，I3/I2＜0.6，I1的半值宽度大于0.54；或者(c)I1是(110)面或者(211)面的线强度，I2是(101)面或(110)面的线强度，I2/I1≥0.5，I3/I2＜0.6，I1的半值宽度大于0.58；或者(d)I1、I2和I3分别为(210)面、(101)面和(211)面的任何一面的线强度，I3/I1≥0.5，I4/I3＜0.6，I1的半值宽度大于0.61；或者(e)I1、I2、I3和I4分别为(110)面、(101)面、(211)面和(301)面中任一面的线强度，I4/I2≥0.5，I5/I4＜0.6，I1的半值宽度大于0.73；或者(f)I1为(301)面的线强度，I2/I1≤0.6，I1的半值宽度大于0.60；或者(g)I1为(211)面或(301)面的线强度，I2为
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