[其他]偏锡酸锌(锡酸锌)气敏元件的制作无效
| 申请号： | 86106681 | 申请日： | 1986-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN86106681A | 公开（公告）日： | 1987-10-21 |
| 发明（设计）人： | 吴兴惠 | 申请（专利权）人： | 云南大学 |
| 主分类号： | G01M27/12 | 分类号： | G01M27/12;H01L49/00 |
| 代理公司： | 云南省专利事务所 | 代理人： | 朱智华 |
| 地址： | 云南省*** | 国省代码： | 云南;53 |
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| 摘要： | 本发明用ZnSnO3或Zn2Sn4，添加一定的SiO2，Al(OH)3作为填充剂和粘合剂，通过研磨、涂料、烧结等工艺可制成直热式、旁热式等半导体气敏元件。采用丝网印刷技术、真空蒸发及溅射技术，亦可制厚膜或薄膜型半导体气敏元件。经测试表明，用上述材料和工艺制成的气敏元件，对氢气、水煤气等气体敏感，具有较高的稳定性和选择性。可用于氢气、水煤气、石油液化气等的检测及报警。 | ||
| 搜索关键词： | 偏锡酸锌 锡酸锌 元件 制作 | ||
【主权项】：
1、一种半导体气敏元件，其特征在于采用ZnSn3或Zn2SnO4作元件材料，用一定的配方和烧结工艺制成。
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