[其他]低能电子谱仪分析栅无效
| 申请号： | 86200013 | 申请日： | 1986-01-06 |
| 公开（公告）号： | CN86200013U | 公开（公告）日： | 1986-09-03 |
| 发明（设计）人： | 阎辰;赵裕民;胡平晟 | 申请（专利权）人： | 中国原子能科学研究院 |
| 主分类号： | H01J49/02 | 分类号： | H01J49/02;H01J49/26 |
| 代理公司： | 核工业部专利法律事务所 | 代理人： | 吴景夏,张水俤 |
| 地址： | 北京市2*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种改进的低能电子谱仪分析栅，即蜂窝状结构分析栅，它是用金属或绝缘材料表面涂以导电物质制成的。该分析栅不但制造工艺简单，成本低，而且分辨率和透射率都超过了4线/毫米的双层金属栅网，分辨率优于10-4，透射率优于98％。 | ||
| 搜索关键词： | 低能 电子 分析 | ||
【主权项】：
1.一种低能电子谱仪用的分析栅，由金属材料制成的平面或球面的电子束栅网组成，其特征在于栅网呈蜂窝状结构，蜂窝栅格的形状为多边形或者圆形，蜂窝栅格高度与蜂窝栅格孔径的比值为1.5至10。
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