[其他]单晶连续生长装置无效
申请号: | 86200234 | 申请日: | 1986-01-31 |
公开(公告)号: | CN86200234U | 公开(公告)日: | 1986-10-22 |
发明(设计)人: | 施仲坚;李惠章;刘金龙 | 申请(专利权)人: | 中国科学院声学研究所 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00 |
代理公司: | 中国科学院声学研究所专利办公室 | 代理人: | 崔茹华,夏秀英 |
地址: | 北京市中*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 单晶连续生长装置是单晶连续生长的设备,其特征为拉晶、退火连续进行。本实用新型是把拉晶炉和退火炉合为一体,由温度控制装置控制,实现热连续。拉晶头可以是一个,也可以是多个。本实用新型可以有效地节约投资,节约能耗,提高劳动生产率。 | ||
搜索关键词: | 连续 生长 装置 | ||
【主权项】:
1、一种采用白金质坩埚提拉单晶的装置,其特征在于它由拉晶炉(7),退火炉(8),降温区(9),(10),晶体运输机械系统(15),(16),(17),(18),隔热堵头11-1,11-2,11-3,11-4,温度控制装置所构成。
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