[其他]深区PN结二极管无效
申请号: | 87100967 | 申请日: | 1987-02-24 |
公开(公告)号: | CN87100967A | 公开(公告)日: | 1987-11-11 |
发明(设计)人: | 孙本栋;林志刚 | 申请(专利权)人: | 山东烟台无线电九厂 |
主分类号: | H01L29/06 | 分类号: | H01L29/06;H01L29/36;H01L29/72;H01L21/28 |
代理公司: | 烟台市专利事务所 | 代理人: | 刘志毅 |
地址: | 山东省*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 一种半导体二极管,其采用深区PN结的结构形式,以耐溶金属为接触电极并选用了钛、铬、银三层金属化系统。用氧化置换反应刻蚀电极。在高真空中进行热处理,使钛与二氧化硅反应形成陶瓷状的化合物。由于采用体内PN结结构,消除了表面影响,在高温下基本上防止了PN结的退化和穿通。 | ||
搜索关键词: | 深区 pn 二极管 | ||
【主权项】:
1、一种深区PN结二极管,其特征是在芯片的深N+层2、深P+层4中形成PN结。
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