[发明专利]适用于开管镓扩散的石英管的制造工艺无效
| 申请号： | 87101336.3 | 申请日： | 1987-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN1014701B | 公开（公告）日： | 1991-11-13 |
| 发明（设计）人： | 田淑芬;薛成山 | 申请（专利权）人： | 山东师范大学 |
| 主分类号： | C03C17/30 | 分类号： | C03C17/30;H01L21/02 |
| 代理公司： | 山东省高等院校专利事务所 | 代理人： | 崔日新,李荣升 |
| 地址： | 山东省济南*** | 国省代码： | 山东;37 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种适用于开管镓扩散的石英管制造工艺，利用Si3N4膜可屏蔽镓元素的原理，在CVD炉中通入硅烷和氨气。使之发生热分解反应，在普通石英扩散管壁上生成一层Si3N4薄膜。使用该类石英管扩镓生产的半导体器件在稳定扩散参数条件下，电参数的一致性和重复性好，该类石英管的寿命比普通石英管大大延长。 | ||
| 搜索关键词： | 适用于 开管镓 扩散 石英管 制造 工艺 | ||
【主权项】：
1.一种适用于开管镓扩散的石英管制造工艺，将石英管用常规清洗洗干净后。烘干，投入CVD炉中。其特征在于，CVD炉温调在400℃-1300℃之间，在此温度段内任取一定温度定好。恒温10分钟后，向石英管中通入硅烷和氨气在N2或H2的负载气氛中进行热分解生成一层厚度为0.1-0.5μm的Si3N4层。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于山东师范大学，未经山东师范大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/87101336.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：热解设备的操作方法
- 下一篇：多孔质玻璃棒的制造方法及其装置
