[发明专利]高频感应耦合等离子分析方法无效
| 申请号： | 87101801.2 | 申请日： | 1987-03-10 |
| 公开（公告）号： | CN1013410B | 公开（公告）日： | 1991-07-31 |
| 发明（设计）人： | 福井勋;冈田幸治 | 申请（专利权）人： | 株式会社岛津制作所 |
| 主分类号： | G01N21/71 | 分类号： | G01N21/71;G01N21/73;H05H1/16 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利代理部 | 代理人： | 王以平 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及适用于在试料雾化室和等离子喷枪之间设置有试料通路转换阀的高频感应耦合等离子分析装置的ICP分析方法。上述装置在进行分析时将试料导入等离子喷枪同时控制供给感应线圈的高频电功率和供给等离子喷枪的气体量使进入喷枪的试料处于等离子发光状态，而在不进行分析时控制上述高频电功率和气体量使喷枪中的等离子区维持在点火状态。 | ||
| 搜索关键词： | 高频 感应 耦合 等离子 分析 方法 | ||
【主权项】：
1、一种分析多种试样的高频感应耦合等离子分析方法，使用的分析装置包括：一提供发光等离子的等离子喷枪(2)；绕在所述等离子喷枪上部、用于产生高频电磁场的感应线圈(10)；通过阻抗匹配器(12)向所述感应线圈(10)供电的高频电源(14)；设置在试料雾化室(18)和等离子喷枪(2)之间的试料流通管路转换阀(26)，所述转换阀(26)可在将试料导入等离子喷枪的第一位置以及将试料排出的第二位置间转换，所述分析方法包括下列步骤：仅在进行高频感应耦合等离子分析时把所述转换阀(26)转换至第一位置以便将所述试料导入等离子喷枪(2)；向所述感应线圈(10)提供第一高频电功率，並向等离子喷枪(2)提供总量为第一体积的冷却气体，从而使进入所述等离子喷枪(2)的试料能处于等离子发光状态；分析所述试料的等离子体；在不进行高频感应耦合等离子分析时，把所述转换阀(26)转换到所述第二位置向所述感应线圈(10)提供第二高频电功率，並向等离子喷枪(2)提供总量为第二体积的冷却气体，以便将等离子区维持在点火状态。
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