[其他]一种变间距刻划的方法及装置无效
申请号: | 87102780 | 申请日: | 1987-04-10 |
公开(公告)号: | CN87102780A | 公开(公告)日: | 1988-10-19 |
发明(设计)人: | 张庆英;花清印 | 申请(专利权)人: | 中国科学院长春光学精密机械研究所 |
主分类号: | G02B27/32 | 分类号: | G02B27/32;B25H7/04 |
代理公司: | 中科院长春专利事务所 | 代理人: | 刘树清 |
地址: | 吉林省长*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | 一种变间距刻划的方法及装置,属于光电控制机械刻划领域中的变间距刻划,尤其是变间距光栅的机械刻划。由相干光源、分光元件和平面变间距样板构成干涉仪系统,用此干涉仪可控制工作台做变间距或变速运动。本发明简单易行,准确可靠,对最小变化量无限制且可实现多种间距变化形式。 | ||
搜索关键词: | 一种 间距 刻划 方法 装置 | ||
【主权项】:
1、一种变间距刻划的方法其特征在于,用置于工作台[1]上的平面变间距样板[4],相干光源[5]和分光元件[7]组成干涉仪,由此干涉仪产生的干涉条纹信号被光电转换器[9]接收并通过计数控制工作台[1]做变速或变间距运动而使工作台[1]上的毛坯件[3]获得变间距刻划。
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