[其他]薄膜形成装置

摘要

本发明的薄膜形成装置具有真空槽和内部槽，在内部槽设有喷射气体的喷嘴，同时，切去相当于从喷嘴喷出的气体的通路部分的内部槽壁，并在反应性气喷出的真空槽内设置印刷电路板，在内部槽内的反应气体通路方向设置电子束引出电极及电子束放出装置，在内部槽的反应气体通路及上述壁面的切去部分之间安装加速电极。本发明的薄膜形成装置具有高速蒸镀，以获得不同膜质的高功能薄膜。并可在较低的温度形成薄膜。

主权项

1、一种薄膜形成装置，其特征在于具有真空槽和内部槽，在该内部槽的内侧设有气体喷射用的喷咀，同时切去相当于从这喷咀喷出的反应气体的通路部分的内部槽壁，并且在反应性气体的喷出方向的真空槽内，设置印刷电路板，另一方面，在内部槽的反应气体通路方向设置电子束引出电极及电子束放出装置，并在内部槽的反应气体通路及上述壁面的切去部分安装加速电极。