[其他]用于对位移物进行控制和定位的电容式直线型或旋转型传感器

摘要

一种通过测量移动物体的位移、角度或速度对该物体进行控制和定位的电容式直线型或旋转型传感器(实施例中为旋转型)包括两个对置的确定一相对间距的定片，定片的间隙中置有一可在其中转动的动片，其特征是动片和定片上的涂层形成粗测系统的测量轨迹和精测系统的测量轨迹，通过在已知的粗测轨迹上增加精测轨迹，本发明的传感器具有大大改进了的分辨率，即具有极高的精度并降低了电路的复杂程度。

主权项

1、一种通过测量移动物体的位移、角度或速度对该物体进行控制和定位的电容式直线型或旋转型传感器(实施例中为旋转型)包括两个对置的确定一相对间距的定片，定片的间隙中置有一个可在其中转动的动片，动片与主轴相联，主轴又与位移的物体相联，在一个定片和动片之间形成了第一气隙，在另一定片和动片之间形成了第二气隙，在定片和动片的互相对着的各面均涂有导电涂层，它们与相应的气隙一起组成了电容器，其电容值随动片的转动而变化，上述这种传感器的特征在于：在动片和定片上的涂层要配置得至少形成两个同心的园环区，其中一个区组成粗测系统的测量轨迹，而另一个区组成精测系统的测量轨迹，精测系统的涂层以360°的几分之一周期地配置在动片和定片的园环轨迹上，而粗测系统的涂层则以360°为周期配置，这样，由动片和定片相互相应的涂层所产生的耦合电容沿主轴的旋转位移图形部分地呈正弦形，加上带有不同前置符号的相对位移的部分正弦电容图形，就可产生一个周期为360°/ni的近似为纯正弦关系的电容图形，ni为正自然整数，用以表示具体测量轨迹的极点对数，下标i表示测量轨迹的号数。