[发明专利]加有磁场的微波等离子体化学汽相淀积法

摘要

本说明书叙述了一种新型的化学汽相淀积法。这里化学汽相反应的主要的激发动力不是电子回旋共振(这时的电子作为独立粒子能够运动而不相互作用)而是混合回旋共振。在这种新提出的共振中，共振空间较大，因而用此新方法可将金刚石之类的高熔点物质淀积成薄膜状。

主权项

1.一种等离子体处理方法，包括下列步骤：将待处理的衬底放在一反应室中；将一反应气体输进所说反应室；在所说反应室中建立一磁场；将微波供给所说反应室，以在所说磁场影响下由所说微波激发所说反应气体；其特征在于，所说衬底放置在磁场强度为满足电子回旋共振条件的磁场强度的±21.2％之处。