[其他]薄膜厚度测量装置无效
| 申请号： | 87207427 | 申请日： | 1987-07-07 |
| 公开（公告）号： | CN87207427U | 公开（公告）日： | 1988-04-20 |
| 发明（设计）人： | 李焯;杨进城;钟茂声;吕文选 | 申请（专利权）人： | 厦门大学 |
| 主分类号： | G01B15/02 | 分类号： | G01B15/02 |
| 代理公司： | 厦门大学专利事务所 | 代理人： | 马应森 |
| 地址： | 福建省厦*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 薄膜厚度测量装置。本实用新型属于微波测厚技术，是对微波腔体微扰法的改进，并应用于介质薄膜的厚度测量。它采用圆柱型TE。双腔单模作为传感器，被测薄膜位于沿纵向中央所开的横向隙缝中，采取温度自补偿措施和线性好的场效应压控振荡器作为微波振荡源，利用扫频技术实现无接触在线连续自动测量和质检兼容。其测量分辨率和精度高，零漂小，耗散功率小，体积小。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 厚度 测量 装置 | ||
【主权项】：
1、微波高Q腔体微扰法测量薄膜厚度的装置，它包括传感器、微波源、检测电路、脉冲形成电路、显示电路和电源，其特征在于传感器采用双腔单模高QTE011模园柱型腔体，双腔为工作腔5和参考腔6，工作腔沿纵向中央开横向隙缝，工作腔5分为两个半腔5A、5B，其中5A与参考腔直接连结，5B通过良导热体连接块18与参考腔连接。
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