[其他]硅压阻式气压传感器无效
| 申请号： | 87209309 | 申请日： | 1987-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN87209309U | 公开（公告）日： | 1988-05-18 |
| 发明（设计）人： | 王冬梅 | 申请（专利权）人： | 北京半导体器件十厂 |
| 主分类号： | G01L9/00 | 分类号： | G01L9/00 |
| 代理公司： | 北京市计算机工业总公司专利事务所 | 代理人： | 薄观玖 |
| 地址： | 北京市崇*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种由管帽、可代基座、外引线，引压管、扩散电阻、硅杯芯片、硅垫片组成的硅压阻式气压传感器、结构简单，成本低，适用于地下电缆保护气压的测量及非腐蚀气体、液体压强的测量。 | ||
| 搜索关键词： | 硅压阻式 气压 传感器 | ||
【主权项】：
1、一种由管帽、可代基座、外引线、引压管、扩散电阻、硅杯芯片、硅垫片组成的硅压阻式气压传感器，其特征是硅杯芯片的弹性膜外层制作有扩散电阻组成的电桥，硅垫片垫在硅杯芯片底部与可代基座的引压气孔，重叠粘接，形成气压空腔，硅杯芯片旁有一参考压强孔，参考压强孔的孔口粘有橡胶膜、扩散电阻的内压点与外引线端点连接，将硅杯芯片，参考压强孔用管帽封装。
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