[发明专利]确定混合气中各气体浓度的方法和测量导热率的传感器

摘要

本发明介绍一种通过测量混合气的导热率确定其各种气体浓度的方法。在(N-1)种气体温度下测量含N种气体成分的混合气导热率。根据所获得的导热率测量值，可计算出各种气体的浓度。适用于在各种气体温度下测量导热率的传感器由一块带有在其上面经腐蚀而成的薄膜电阻的硅底板所构成，在底板上盖有一块盖板。在两块板上薄膜电阻的上下，有经腐蚀而成的构成测量室的穴。欲进行测定的混合气，通过一个扩散通道和一些孔口进入测量室。

主权项

1.用于测量混合气导热率以便测定混合气中各种气体浓度的传感器，其特征在于该传感器包括：一块用硅制成的几百微米厚的底板(1)，该底板(1)上敷有一层电绝缘层(3)，通过喷镀或蒸发而敷在绝缘层上的折线形薄膜电阻(5a，5b)，其中之一用作加热电阻，另一个用作测温电阻，一个位于所述电阻和绝缘层下面的在底板(1)上形成的穴(7a)，绝缘层上至少有一个能使气体进入该穴内部的孔口(11a，11b)，一个由硅制成、厚度与底板相当并具有与第一个穴大小相当的穴(7b)的盖板(2)，该盖板(2)置于底板上方，使之所述穴对齐并构成一个公共测量室，一个在盖板中的扩散通道(8)，用于使气体通过扩散进入测量室，该扩散通道(8)由两个联通穴(7a，7b)放在一起时构成。