[发明专利]汽相淀积金刚石的方法

摘要

汽相淀积金刚石的方法在热等离子体化学汽相淀积装置的阴阳极之间通入放电气的同时进行电弧放电；通过向形成的等离子流中加入气态碳化物使气态碳化合物自由基化；以及使所述的自由基化的等离子流碰撞待处理的基片，从而在所述基片上形成一层金刚石膜。

主权项

1.一种汽相淀积金刚石的方法，该方法包括如下步骤：(i)在一热等离子体化学汽相淀积装置的阴极与至少一个阳极之间充入一种放电气体的同时进行直流电弧放电从而产生一种等离子射流；(ii)通过往等离子流中加入氢和气态碳化合物使氢与气态碳化合物自由基化，以及(iii)使所述自由基化等离子流碰撞待处理的基片，从而在基片上形成一层金刚石膜，其中通过碰撞基片使其冷却或通过往等离子流中吹入冷却气体等离子流骤冷，以便形成含有高浓度自由基的活性非平衡等离子体。