[其他]门关断闸流晶体管及其制造方法无效

专利信息
申请号: 88102261 申请日: 1988-04-07
公开(公告)号: CN88102261A 公开(公告)日: 1988-11-23
发明(设计)人: 彼得·罗格韦勒 申请(专利权)人: BBC勃郎勃威力有限公司
主分类号: H01L29/74 分类号: H01L29/74;H01L29/36
代理公司: 中国专利代理有限公司 代理人: 肖掬昌,肖春京
地址: 瑞士*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 具有半导体基片(1)的门关断闸流晶体管(GTO),至少包括-P型导电阳极层(4),-n型基区层(6),-和门电接触的P型基区层(7)和-包括用作n+发射极的重掺杂区(10)和轻掺杂区(9)的n型导电阴极层(8)。区(10)与基片(1)表面相毗连,其掺杂浓度至少较P型基区层的高一个数量级。区(9)位于层(7)和层(8)形成的pn结J1与层(8)的区(10)之间。按照本发明的实施例,在台面结构GTO中,区(10)使区(9)在指形阴极(2)的中央条形区(5)从pn结J1延伸到基片(1)表面。
搜索关键词: 门关断闸流 晶体管 及其 制造 方法
【主权项】:
1、具有半导体基片(1)的门关断闸流晶体管,至少包括:a)一个P型导电阳极层(4),b)一个n型基区层(6),c)一个和门电接触的P型基区层(7),d)一个n型导电阴极层(8);其中,e)阴极层(8)包括与半导体基片(1)表面毗连的重掺杂区(10),用作n+发射极,其掺杂浓度数量级至少高于P型基区层(7),f)阴极层(8)还包括与一个由阴极层(8)和P型基区层(7)形成pn结毗连的轻掺杂区(9),其掺杂浓度与P型基区层(7)在相对阴极层(8)的pn结处的掺杂浓度相差不大。
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