[发明专利]具有可调阴极的等离子发生设备

摘要

一种电弧等离子体发生设备，其包括用于调整阴极和阳极之间间隔用的诸组件一加接于阴极的活塞可在一圆筒件中滑动，且将圆筒件分成第一腔和第二腔。第一腔在减小的压力下接收排放的控制流体，一有选择地将控制流体输入到第二腔中的第一阀门，以对抗减小的压力推动活塞，从而沿第一方向轴向推动阴极；一有选择地排放来自第二腔的控制流体的第二阀门，以使第一腔中的减小的压力沿着与第一方向相反的方向推动活塞；加接于活塞和圆筒件的端板之间的可伸缩管道位于圆筒件中，用其将冷却流体送到阴极；一连接阴极和一电弧电流源的挠性电缆位于圆筒件中，故可被圆筒件中的流体冷却。

主权项

1、一种等离子体发生设备包括一电弧装置，它具有一与一阳极相互间隔开以在两者之间保持一电弧的阴极件，一用来接收加压的液状冷却流体以冷却电弧装置的流体通道装置；一在中等压力下排放冷却流体用的排放装置；以及一用于调整阴极件和阳极之间轴向间隔的阴极定位装置，它包括一用于测定阴极件与阴极件之间的电弧电压的电压测定装置，其特征在于，阴极定位装置还包括：一从电弧装置延伸的封闭的圆筒；一加接到阴极件上的活塞，其可滑动地位于圆筒件中并将汽缸分隔成一第一腔和一第二腔，第一腔接收来自排放装置的冷却流体，并有一具足够阻力的输出装置以保持第一腔中的冷却流体于中等压力；一用来选择地将加压的液状控制流体输入第二腔的第一阀门装置，以对抗第一腔中具中等压力的冷却流体而推动活塞，由此沿着向着第一腔的第一方向移动阴极件；一用来选择地排放来自第二腔的控制流体的第二阀门装置，第一腔中具中等压力的冷却流体对抗第二腔中的排放控制流体而推动活塞，由此沿着在轴向上与第一方向相反的第二方向移动阴极件。