[发明专利]非接触空间测量的方法和装置

摘要

测量工件边缘平直度的光电计测装置和方法。该装置包括强度均匀的光源，光检测器，准直光装置，第一透镜，有一光栏孔的挡板，第二透镜及检测装置。该方法包括；产生均匀准直光；使两个边缘间的投射光形成一具有横向尺寸的象；限制该象通过第一透镜并使成象光线的角分量接近平行光；使此光聚焦；在焦面处检测图象横向尺寸方向上的最大光强和具有至少1/2已测最大光强而成象的部分的横向长度，以消除间隙边缘图象的光学边缘效应。

主权项

1、一种测量横过光轴的间隔元件的间距的装置，包括：一个均匀光源；一个光探测器；从所述光源沿着所述光轴出射准直光的装置；一个中心位于所述光轴上第一透镜，接收通过所述间隔元件之间的来自准直光装置的光；一个挡板，位于所述第一透镜的后焦平面处，其上有一个位于光轴中心的光栏孔，以限制从所述光源通过所述间隔元件之间出射光的角分量，使光线近似平行于光轴；一个第二透镜，它把入射到第一透镜上的光聚焦，并通过所述的光栏孔射到所述探测器上；所述探测器，探测从所述第二透镜入射到探测器上成象部分的光的位置和强度；所述的孔径，沿测量方向有一个宽度以产生一个象，入射到所述探测器上，在倾斜光强端区之间具有均匀的最大光强；接收装置，接收通过间隔元件之间，并入射到所述探测器上的光象大小的装置，探测器至少具有1/2最大光强的光。