[发明专利]激光精密测量物体直线度装置及其测量方法无效
申请号: | 88106504.8 | 申请日: | 1988-09-05 |
公开(公告)号: | CN1026192C | 公开(公告)日: | 1994-10-12 |
发明(设计)人: | 李钰;李绍勣 | 申请(专利权)人: | 太原工业大学 |
主分类号: | G01B11/30 | 分类号: | G01B11/30;G01B9/02 |
代理公司: | 太原专利事务所 | 代理人: | 庞建英 |
地址: | 山西省太*** | 国省代码: | 山西;14 |
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摘要: | 本发明激光精密测量物体直线度的装置及其测量方法,提出了一种用激光精密测量大尺寸物体直线度的新方法及其装置,本装置以激光做光源,以光栅、晶体片及对称的两面反射镜经反射后再次衍射然后干涉的独特原理构成测量系统。主要由激光头和光电检测系统,平面反射镜及其精密调节系统,光栅、晶体片及其调节系统。电子数据处理和显示系统,数字打印和五大部分组成,是一种大尺寸物体实时、自动、高效、高分辨、高精度测量直线度的装置及其测试方法。 | ||
搜索关键词: | 激光 精密 测量 物体 直线 装置 及其 测量方法 | ||
【主权项】:
1.一种激光精密测量物体直线度的装置,包括激光源、光栅、晶体片、两个平面反射镜、数据处理和显示,打印系统,其特征在于:由激光源(1)发出的激光照射到倒置望远镜(2)再经过分束器(3)照射到光棚(18)、晶体片(19)上,光栅和晶体片放在一个可调节的机械装置中,此机械装置置于被测导轨(21)上,由晶体片(19)出来的两束衍射光,分别射到两个成一定角度完全对称设置的平面镜(16)上,射至该两平面镜上的两束光被垂直返回,经晶体片(19)、光栅(18)、分束器(13)进入干涉滤光片(5),而后进入格兰--付科棱镜(6),由格兰--付科棱镜(6)出来的光,分别进入光电池对(7)进行光电转换,转换后的电信号经前置放大器(8)放大后进入数据处理系统(17),数据处理系统(17)后接打印机(22)。
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