[实用新型]电流补偿式微电容变化量测试装置无效
| 申请号： | 88200726.2 | 申请日： | 1988-01-30 |
| 公开（公告）号： | CN2056515U | 公开（公告）日： | 1990-04-25 |
| 发明（设计）人： | 谭长华;许铭真;金杰;王阳元 | 申请（专利权）人： | 北京大学 |
| 主分类号： | G01R27/26 | 分类号： | G01R27/26;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京大学专利事务所 | 代理人： | 郑胜利 |
| 地址： | 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本装置属半导体测量技术(C-V技术)，具体地说，就是涉及MOS器件中微量可动离子，PN结(或MS结)中微量深能级杂质以及高性能二极管配对筛选的测量技术。本装置采用电流补偿原理，将传统C-V测量的单端输入运放工作模式改变为两端输入差动电流补偿工作模式，从而使干扰测量的背景电容被自动补偿掉，突出了相关电容的微量变化，使测量的分辨率显著提高(1-2个量级)。另外，由于构思的原因，使本装置的技术与现有设备是兼容的，既可以外加相应的电流补偿措施，也可在原有设备上略加改动，就可以改型，对于厂家、用户都颇为灵活、方便、实惠。 | ||
| 搜索关键词： | 电流 补偿 式微 电容 变化 测试 装置 | ||
【主权项】：
1、一种由波形可变的电压信号仪1、电压测量记录器2和运算放大器组成的微电容变化量测试装置，其特征在于运算放大器是由微电流计、补偿阻抗3和分压电阻R所组成的电流补偿差分运算放大器。
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