[其他]半导体密封磁力传动快速退火装置

摘要

半导体密封磁力传动快速退火装置，属于半导体器件制造的工艺技术。采用高频加热石墨板来对半导体材料进行退火，特点是采用全密封系统，退火前可预抽真空，采用磁力传动来驱动加工样品。经本装置退火的半导体材料具有电激活率高，杂质再分布小等优点，本装置不仅适于浅结，短沟道的超大规模集成电路的加工工艺，特别适于砷化镓(GaAs)等多元化合物半导体和其他对痕量氧、水汽极其敏感材料的退火。

主权项

1、半导体密封磁力传动快速退火装置，由石英退火腔5，高频加热线圈7，石墨板8，氢气净化器2，氮气净化器3，保护气体输送管9，红外线测温仪10及加热控制器1构成，还包括保护气体喷管6，退火腔端帽4，导管13，石英杆14，铁块15，磁钢16，其特征在于：a)在上述半导体快速退火装置中，在石英退火腔5内有一个水平放置的“Y”形保护气体喷管6，喷管6内侧开有若干小喷气孔，有一个带有排气管的退火腔端帽4与石英退火腔5的左端密封连接，有一个末端封闭的导管13与石英退火腔5的右端密封连接，导管13内有一根石英杆14，石英杆14左端与一石英托架11连接，石英杆14右端与一石英包封铁块15密封烧结；b)在上述半导体快速退火装置中，有一块石墨板8架在“Y”形保护气体喷管6的上面，石英托架11可在“Y”形保护气体喷管6的内侧移动，并与“Y”形保护气体喷管6保持在一个平面内；c)在上述半导体快速退火装置中，导管13内的密封烧结铁块15可在导管内灵活移动，石英杆14的左端有一支架12，使得石英托架11和石英杆14和密封烧结铁块15可以在水平方向移动；d)在上述半导体快速退火装置中，导管13外套有一块磁钢16，驱动磁钢16可带动密封烧结铁块15在导管13内移动。