[发明专利]一种金属氧化物超导薄膜的制备方法

摘要

本发明是一种金属氧化物高温超导薄膜的制备技术。它用钇、钡、铜金属有机物或铋、锶、钙、铜金属有机物或铊、钙、钡、铜金属有机物作有机源，在改进的金属有机物化学气相沉积系统中，氧参与的情况下，以等离子激励，代替或增强热解反应，从而直接在单晶衬底片上沉积生长临界温度在液氮温区的光亮、致密氧化物高温超导薄膜。是一种兼有化学气相沉积和物理气相沉积氧化物超导薄膜优点的方法。

主权项

1、一种金属氧化物高温超导薄膜的制备方法，包括在金属有机物化学气相沉积系统中加热衬底单晶片、抽真空，升华有机源，并由载气输送到反应室以及通入反应氧气，其特征在于a.气相反应由等离子激励，代替或增强热解；b.等离子发生器高频耦合为电容式或电感式；c.沉积氧化物超导薄膜工艺参数为：载气流速10-1000标准毫升/分氧气流速5-500标准毫升/分反应室中辉光压力0.1-10乇辉光功率50-3000瓦单晶衬底片温度为：室温-900℃有机源升华温度100-300℃。