[发明专利]溅射氧化铁薄膜的制备无效
| 申请号： | 89101807.7 | 申请日： | 1989-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN1045997A | 公开（公告）日： | 1990-10-10 |
| 发明（设计）人： | 周增均 | 申请（专利权）人： | 北京大学 |
| 主分类号： | C23C14/08 | 分类号： | C23C14/08;C23C14/34;G11B5/84;H01F41/18 |
| 代理公司： | 北京大学专利事务所 | 代理人： | 陈美章 |
| 地址： | 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 氧化铁薄膜Fe3O4是计算机硬盘应用的一种主要介质，该发明一步法加水蒸汽溅射氧化铁薄膜，是一种全新的工艺，是由纯铁(加钴)靶，经反应溅射采用该法制备的Fe3O4薄膜，其饱和磁化强度Ms达450—470emu/cc，再经过空气中加热氧化生成rFe2O3其Ms值可达360emu/cc，薄膜的矫顽力可达300—1300Oe，该发明制备的氧化铁薄膜磁性较强，工艺稳定性好且宽容度大，溅射速率高，晶粒均匀，缺欠很少。 | ||
| 搜索关键词： | 溅射 氧化铁 薄膜 制备 | ||
【主权项】：
1、一种溅射氧化铁薄膜的制备方法，其特征是用纯铁靶或纯铁加钴的混合靶，经一步法加水蒸汽而直接生成氧化铁薄膜。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京大学，未经北京大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/89101807.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：水泥彩色图案装饰板及其生产方法
- 下一篇：燃油喷入连续点火汽油机
- 同类专利
- 专利分类
