[发明专利]制备电蚀机的加工液用的设备

摘要

一种制备电蚀机加工液用的设备，具有一过滤器(3)，浓缩液流即从浓缩液槽(1)供到该过滤器中，滤透物流从该过滤器中排出。为获取优质的加工液，过滤器系由薄膜过滤器(3)构成，按某一回洗频率进行回洗，该回洗频率是电蚀工艺的一个参数。

主权项

1.一种制备电蚀机的加工液用的设备，它具有：一浓缩液槽；一清洗槽；一过滤器，浓缩液流从浓缩液槽流到该过滤器，渗透物流在该过滤器的渗透物出口处从过滤器流出到该清洗槽；一供过滤器用的回洗装置，在回洗期间，用回洗装置就可以迫使渗透物从过滤器的渗透物侧通过该过滤器到过滤器的浓缩液侧，以及一回流阀，适宜在回洗期期间关闭，以防止任何回洗液到达渗透物并防止它们互相混合，其特征在于，该过滤器是一薄膜过滤器(3)，且回洗装置(39，43，44，41)在各个情况下都是在过滤周期末进行回洗的，该过滤周期是电蚀工艺参量的函数，该参量影响电蚀期间的污垢量。