[发明专利]在气态环境扫描电子显微镜的改进型电子探测器

摘要

气态环境扫描电子显微镜的改进型电子探测器装置，该装置的电极几何结构能分离样品表面发出的各种信号，其第一电子探测器与压强限制孔整体形成收集放大的低能二次电子信号。位于压强限制孔稍下方的环状电极组件包括一个细环形成的收集放大的低能二次电子信号的内层电子探测器。及位于其外面的中间电子探测器以收集放大的高能背散射相关信号；还包括位于中间探测器之外的外层电子探测器，以收集放大的低能背散射相关信号。

主权项

1.一种改进的环境扫描电子显微镜，包括：(2)用于发射电子束并使电子束进入一电子光学真空圆管的电子源，该电子光学真空圆管包括用于对所述电子束进行聚焦的装置和用于用聚焦后电子束对一样品表面进行扫描的扫描装置；(b)保存待以聚焦后电子束扫描样品并使聚焦后电子束能射入其内的样品室，和(c)一个位于所述样品室中并为支撑所述待以聚焦后电子束扫描的样品而定位的样品座；(d)对从样品表面发射出的信号进行探测的装置，其特征在于：所述探测装置包括一个基本是环状的电极组件，该电极组件具有一个细环形成的内层电子探测器，一个沿半径方向位于所述内层电子探测器之外的中间电子探测器，它由第一组同心的弧状部件构成，以及一个沿半径方向位于所述中间电子探测器之外的外层电子探测器，它由第二组同心的弧状部件构成，为得到定向的外表对比度，所述第一组同心的弧状部件和所述第二组同心的弧状部件基本是正交的，所述内层、中层和外层电子探测器基本位于同一水平面上；所述显微镜还包括：(e)分别对所述内层，中间和外层电子探测器施加初始相同电势的偏压装置。