[发明专利]表面三维形貌非接触测量仪

摘要

本发明涉及一种表面三维形貌非接触测量仪，属光学测量仪器，用于测量表面微观几何形貌及粗糙度，本测量仪主要由光源，起偏器，分光棱镜，显微物镜，1/4波片，检偏器，光电面阵探测器等组成，与已有技术相比，本发明的优点在于测量分辨率高，移相器件的结构简单，移相粗度较高，两束干涉光通过同一光路，受到外界干扰相同，对于涉光强影响较小、因此系统对机械振动和强度的影响不敏感，在一般生产环境中就可以使用本仪器。

主权项

1.一种由光源、显微物镜、目镜、光电面阵探测器等组成的表面三维形貌非接触测量仪，其特征在于所述的测量仪还包括起偏器、分光棱镜、1/4波片和检偏器，所述的光源发出的光由所述的起偏器变成线偏振光后进入所述的分光棱镜，分光棱镜将线偏振光分为两束具有微小夹角并且振动方向相互垂直的线偏振光，两束光通过所述的物镜后产生一平行的剪切量△x，这两束光被样品表面反射后经原路返回，由所述的分光棱镜重新复合共线，然后再穿过所述的1/4波片和所述的检偏器发生干涉，干涉场的光强信号由所述的光电面阵探测器进行接收，通过所述的目镜直接观察干涉图象。