[发明专利]环形三迭片超声振子及用其钳位的微动马达无效
| 申请号： | 89109320.6 | 申请日： | 1989-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN1012544B | 公开（公告）日： | 1991-05-01 |
| 发明（设计）人： | 周铁英;董蜀湘 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | H01L41/09 | 分类号： | H01L41/09;H02N2/00 |
| 代理公司： | 清华大学专利事务所 | 代理人： | 廖元秋 |
| 地址： | 北京市海*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种环形三叠片超声振子及用其钳位的微动马达，属于超声技术及其在精密微动装置上的应用。本发明设计出一种超声振子，其结构为开有一切口的压电环上套有内衬环和可锁紧的外环。本发明用此超声振子构成的压电超声微动马达，结构新颖，制作简单，大大降低了导向轴的加工精度。在使用期间可使钳位振子与导向轴始终保持所需的吻合度要求，该马达推力达0.5Kg、步长50Nm-1μm可调，最大位移速度大于3mm，工作电压为50V。 | ||
| 搜索关键词： | 环形 三迭片 超声 微动 马达 | ||
【主权项】：
1.一种环形三迭片超声振子，由压电环构成，其特征在于有内环及外环分别套在所说的压电环的内、外表面电极上，所说的三迭片超声振子环上开一切口，该外环切口的两端有两个凸臂，与锁紧元件相连，所说的内环选用耐磨材料制成。
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