[实用新型]非接触式激光干涉比较仪无效
| 申请号： | 89202126.8 | 申请日： | 1989-03-03 |
| 公开（公告）号： | CN2045841U | 公开（公告）日： | 1989-10-11 |
| 发明（设计）人： | 刘兴占 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02;G01B11/02 |
| 代理公司： | 清华大学专利事务所 | 代理人： | 章瑞溥 |
| 地址： | 北京市海*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种非接触激光干涉比较仪，采用临界角法非接触光触针定位，和迈克尔逊干涉测量系统及光电转换数字显示系统，在测量时测头不接触工件表面，对高精度或非金属材料表面进行比较测量时，不会损坏被测表面，同时测量结果可自动显示，测量精度高、操作方便。 | ||
| 搜索关键词： | 接触 激光 干涉 比较仪 | ||
【主权项】：
一种非接触式激光干涉比较仪，其特征是采用临界角法非接触光触针定位和迈克尔逊干涉系统定位及光电转换数字显示系统组成，其具体结构是在仪器底座(28)上固定升降丝杠(29)及工作平台(30)，在上述升降丝杠(29)上安有螺母(31)，螺母(31)与支承板(33)刚性相连，支承板(33)上部用支架(39)安装激光管(40)，激光管光路下方安装有透镜(42)、(43)，在支承板(33)中部安装有反射镜(44)，分光镜(45)、(46)、(47)，光电元件A、B构成一光路系统，在支承板(33)下部安装有小丝杠(36)，在上述小丝杠(36)上部装有螺母(35)，螺母(35)用螺钉与滑动板(34)相连，小丝杠(36)上部有伞齿轮付(38)，该伞齿轮付(38)由手柄(37)驱动，滑动板(34)上装有棱镜调节架(48)，在上述棱镜调节架(48)上装有三角棱镜(49)，在该棱镜调节架(48)前方(左方)装有1/2λ波片(50)，在该1/2λ波片(50)左方装有胶合在一起的偏振棱镜(53)、棱镜(54)、斜棱镜(55)，在偏振棱镜(53)下方装有1/4λ波片(51)及物镜(52)，在棱镜(54)上方装有临界角棱镜(57)及动反射镜(58)，光电元件D、E，在棱镜(54)右方装有临界角棱镜(57)及光电元件F、G，上述光学元件及光电元件与激光管(40)构成一光路系统。
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