[实用新型]等离子镀膜机点弧自控装置无效
申请号: | 89203965.5 | 申请日: | 1989-04-02 |
公开(公告)号: | CN2059919U | 公开(公告)日: | 1990-08-01 |
发明(设计)人: | 陆国民 | 申请(专利权)人: | 陆国民 |
主分类号: | C23C14/32 | 分类号: | C23C14/32 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 上海市宝山*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型是一种等离子镀膜机点弧自控装置。它在现有技术的基础上进行了改进。仅采用一个继电器,直接利用点弧信号来控制点弧时间,该继电器两工作电压控制端,一端取自弧电源的负端,另一端通过限流电阻连接在弧电源的正端,从而解决了原有装置存在的引弧丝易烧断和引弧丝易与基体粘结等问题。本实用新型结构简单,成本降低,工作可靠、经实际应用,引弧效果良好。 | ||
搜索关键词: | 等离子 镀膜 机点弧 自控 装置 | ||
【主权项】:
一种等离子镀膜机点弧自控装置,由弧电源、真空室、钛靶源、引弧电磁铁、引弧线、继电器和电阻元件组成,其特征在于所述的点弧自控装置仅采用一个继电器,该继电器两工作电压控制端,一端取自弧电源的负端。另一端通过限流电阻连接在弧电源的正端,同时还与真空中的引丝和钛靶源并联。
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