[实用新型]硅自封闭压力传感器无效
| 申请号： | 89210121.0 | 申请日： | 1989-02-14 |
| 公开（公告）号： | CN2047014U | 公开（公告）日： | 1989-11-01 |
| 发明（设计）人： | 于海波;段祥照 | 申请（专利权）人： | 于海波;段祥照 |
| 主分类号： | G01L1/00 | 分类号： | G01L1/00;G01L9/00;H01L49/00 |
| 代理公司： | 辽宁省科学技术情报研究所专利代理部 | 代理人： | 刘旭 |
| 地址： | 辽宁省沈阳*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 一种硅自封压力传感器，它克服了原有技术中加工难度大，测量精度不高等缺点。本实用新型包括有金丝、引线板、缓冲垫、玻璃元件、硅元件、密封圈、压紧螺帽等组成，其中由玻璃元件硅元件的下部，在硅力敏元件与外壳之间用粘接剂进行密封，在下部利用密封圈进行密封。本实用新型的具有测量精度高、线性好、成本低等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 封闭 压力传感器 | ||
【主权项】：
1、一种硅自封闭压力传感器，包括有金丝1，引线板2，缓冲垫3，玻璃元件4，硅元件5，密封圈6，压紧螺帽7，外壳8，密封粘接剂9，其特征在于：硅元件5设置在玻璃元件4的下端，构成硅力敏元件，玻璃元件4的上端设置有缓冲垫3，硅力敏元件在外壳8的上部，在外壳8与硅力敏元件之间，充填有粘接剂9，在硅力敏元件与压紧螺帽7之间设置一个密封圈6。
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