[发明专利]对经液体处理后的基片进行清洁干燥的方法和装置无效
| 申请号： | 90100958.X | 申请日： | 1990-02-24 |
| 公开（公告）号： | CN1023450C | 公开（公告）日： | 1994-01-12 |
| 发明（设计）人： | 阿德里安·弗朗西斯卡斯·玛丽亚·李纳斯;杰克·朱尔斯·范奥凯尔 | 申请（专利权）人： | 菲利浦光灯制造公司 |
| 主分类号： | B08B3/10 | 分类号： | B08B3/10;H01L21/30 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 栾本生,马铁良 |
| 地址： | 荷兰艾*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 对经液体处理后的基片进行清洁、干燥的方法和装置。把基片(1)浸入盛有液体(3)的槽(2)中一段时间，然后再缓慢地从液体中取出，使液体实际上仍全部留在槽(2)中。根据本发明，基片(1)从液体(3)中一出来就立即和来自导管(17)的排气喷嘴(18)的、不在基片上凝结的、且由易与液体混合的物质组成的蒸汽接触，接触后生成表面张力于该液体的混合物。已发现经处理后的基片(1)上不存在有机或金属残余物，或者其它污染物的干迹。 | ||
| 搜索关键词： | 液体 处理 进行 清洁 干燥 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种经液体处理后的基片的清洁、干燥的方法，把基片在盛有液体的槽中浸入一段时间后，再把它非常缓慢地从槽中取出时，使液体实际上仍全部留在槽中，这种处理基片方法的特征在于：基片从液体中一出来就立即与不在基片上凝结的、由易和该液体溶合的物质组成的蒸汽接触，接触混合后，蒸汽物质生成表面张力低于该液体表面张力的混合物。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于菲利浦光灯制造公司，未经菲利浦光灯制造公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/90100958.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：抗干扰多输入-单输出模拟开关装置
- 下一篇：微型电动机转子
