[发明专利]电荷耦合器件含有该器件的图像传感器装置及装有该装置的摄象机

摘要

在电荷耦合器件(CCD)中，暗电流的主要部分是由表面状态所引起的。因为暗电流限制了摄象机的灵敏度，所以特别在图象传感器中，暗电流是起干扰作用的。而按照本发明，积分选通脉冲是周期性进行变化的，使埋沟下面的表面部分周期性地发生反型和耗尽，因而在保持电荷含量的同时，可达到显著减少暗电流。在图象传感器中，电压变化最好出现于回扫时间期间。

主权项

1、一种埋沟型电荷耦合器件，它包含一半导体本体，该本体具有一种导电型的电荷输运沟道，该沟道座落在一表面近旁并经由一PN结进入与第一导电型相反的第二导电型的邻接层，所述表面备置一系列相继的电极，这些电极被一层绝缘层和所述表面分开，并被连接到用来施加含有闭锁电平和激励电平的时钟脉冲电压的电压源上，在电荷输运沟道中感生一势垒或势阱的同时，选定所述闭锁电平使得在半导体本体的表面发生相反的导电类型，其特征在于本发明这样来选定激励电平，以致仅在表面出现耗尽，而在工作期间，使与至少一部分的所述电极相对应的电荷输运沟道的表面部分交替地发生耗尽，在该种情况下，信号电荷可存储在电极下面，并发生反型。