[发明专利]制备氧化铁烟敏薄膜的方法无效
| 申请号： | 90110100.1 | 申请日： | 1990-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN1025074C | 公开（公告）日： | 1994-06-15 |
| 发明（设计）人： | 彭军;柴常春;严北京 | 申请（专利权）人： | 西安电子科技大学 |
| 主分类号： | G01N27/414 | 分类号： | G01N27/414 |
| 代理公司： | 陕西省发明专利服务中心 | 代理人： | 王品华 |
| 地址： | 710071*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种气敏传感技术领域，特别是一种制备氧化铁烟敏薄膜的方法。该方法采用金属有机化合物五羰基铁[Fe(CO)]5作为反应源物质，采用常压化学气相淀积法进行淀积，分别制备出掺杂和非掺杂氧化铁烟敏薄膜。该薄膜在烟雾I级的浓度下，灵敏度可达52，而在1000ppm的酒精、液化石油气，甲烷气体和氢气的灵敏度仅为7.4、2.7、2.7和4.0，其灵敏度高，选择性好，响应恢复时间快等特点均优于已商品化的离子敏感烟探测器和烧结型气敏元件，具有广泛的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 制备 氧化铁 薄膜 方法 | ||
【主权项】：
1.一种制备氧化铁烟敏薄膜的方法，采用常压化学气相淀积法，包括以金属有机化合物五羰基铁[Fe(CO)5]作为参加化学气相淀积反应的源物质，以氩炎式氮气为载气，携带源物质与氧气进行反应，生成氧化铁薄膜，淀积在衬底上形成烟敏薄膜，其工艺条件如下：衬底温度：80～150℃载气(Ar)流量：100～200ml/分氧气(O2)流量：50～150ml/分沉积时间：10～20分。
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