[实用新型]大容量圆筒形平板型干法刻蚀机

摘要

大容量圆筒形平板型干法刻蚀机是一种等离子体微细加工专用设备。该机容量大，刻蚀精度较高且均匀，能连续完成打底膜、刻蚀、去胶。生产效率高，结构简单，成本低，其特征是反应室内有水平放置的三个以上电极板或二个以上垂直于水平面放置的电极板，奇数极板并联为一组，偶数极板并联为一组，在电源线路高频放电回路上并联有可调节的直流偏置电路或正负半周对称波形可调节交流低频偏置电路，进气口和出气口按排连接恰当。

主权项

1、大容量圆筒形平板型干法刻蚀机，有圆筒形反应室、内电极板、反应室密封帽、真空泵、进出气管、刻蚀源流量计及电源线路部分组成，真空泵和刻蚀源流量计分别用连接管与反应室连接，反应室密封帽套在反应室开口处，内电极板置于反应室内，电极电源引出端与高频电源线路输出端连接，其特征是：内电极板为三个以上(含三个)水平电极板，或二个以上(含二个)垂直于水平面电极板，反应室的径向两侧或轴向两端有进气口和出气口。