[发明专利]集成复合传感器以及使用该集成复合传感器的静压和差压传送器无效

专利信息
申请号: 91101796.8 申请日: 1991-03-19
公开(公告)号: CN1028447C 公开(公告)日: 1995-05-17
发明(设计)人: 鹈饲征一;岛田智;飞田朋之;佐濑昭 申请(专利权)人: 株式会社日立制作所
主分类号: G01L9/06 分类号: G01L9/06
代理公司: 上海专利商标事务所 代理人: 吴淑芳
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 在用于差压和静压传送器的集成复合传感器中,在静压检测薄片层上形成一对静压检测元件,在靠近差压检测薄片层中心的固定部分上形成另一对静压检测元件。出现在静压传感器中的差压产生的第二项是一个距离的函数,因此作用在每个静压检测元件上的影响相等。这样,通过将静压传感器构成一桥电路,可以检测到不受差压影响的静压值,因而有可能精确地确定差压和静压。
搜索关键词: 集成 复合 传感器 以及 使用 静压 传送
【主权项】:
1.一种集成复合传感器,包含:一传感器基片;一支持所述传感器基片的固定基座;一形成在所述传感器基片上的差压检测装置;和一形成在所述传感器基片上的静压检测装置,其特征在于所述静压检测装置具有:至少一个第一静压传感器,所述第一静压传感器具有一形成在与所述差压检测装置分开设置的静压检测薄片层的应变敏感检测元件;和至少一个第二静压传感器,所述第二静压传感器具有一形成在所述传感器基片的固定部分上的应变敏感检测元件;所述集成复合传感器进一步包含一处理装置,用于对所述第一静压传感器和第二静压传感器的输出信号进行处理以获得一个与差压无关的静压信号。
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